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烟台净化车间说车间净化标准

发布日期:2019-08-31 作者: 点击:



    净化车间也有标准,不同级的车间净化标准也是不同的

    烟台净化车间净化空气的原理:净化车间的空气净化方式为物理过滤,一般要经过初效过滤、中效过滤、高效过滤等三个过滤段。气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。

    动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。

    烟台净化车间具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

烟台净化车间

    三十万级净化车间标准以每立方米>=0.5μm微尘粒子数目来设定的. 十级就是在每立方米内有0.5μm微尘粒子的数量是10个.以此类推。广州梓净承接百级、千级、万级、十万级、三十万级净化车间净化工程。

     烟台净化车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产非常好的温度范围为35—45%。


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关键词:烟台净化车间

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